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隨著社會科學技術的發展，越來越多的行業對清潔真空、環保等方面提出了嚴格的要求，以避免回油泄漏污染，因此無油真空泵得到了迅速的發展。由于起步較晚，許多企業用戶只使用爪式真空泵和螺桿泵等上。事實上，無油真空泵涉及的不止這些類型。
當談到無油真空泵時，先提到的是爪式真空泵。它是為電子半導體工業開發的干式真空泵。它能滿足潔凈真空的需要，具有高效的自動啟閉閥門的作用，又很高的效率。
然后是螺桿泵，螺桿泵和爪式真空泵都是非接觸式無油真空泵，泵腔中不含油、水等物質，轉子之間存在間隙，對顆粒物質和凝析氣體具有一耐受性。同時，與爪形真空泵相比，由于沒有相似的閥門結構，效率較低，但其氣道通暢，轉子結構簡單，適應性較好，分別具有優勢。
渦旋真空泵的開發和生產主要集中在美國、日本和英國，因此許多國內企業不了解這個無油真空泵。廣泛應用于分析儀器、半導體芯片生產線、科研設備、分子泵的前置泵和小型低溫泵。
根真空泵羅茨真空泵種類繁多，如濕式真空泵、干式真空泵、直排真空泵、普通真空泵、多級真空泵等，引起了一些用戶對一的誤解。事實上，中、高真空用機械增壓泵和多級羅茨泵都是無油真空泵，抽油量大，應用廣泛。
無油旋轉葉片真空泵和無油活塞真空泵（往復式泵）。普通的旋片式真空泵和活塞式真空泵雖然在泵腔內有油介質，但也可以利用自潤滑材料實現無油運行，成為無油真空泵。另外，隔膜真空泵在往復泵中也沒有油型。
渦輪分子泵。它是一型原用于超高真空的無油真空泵。隨著高出口壓力、高流量的發展，其應用范圍逐漸向中高真空領域發展。
以上是目前常見的無油真空泵，除此之外，還有低溫泵、吸附泵等能夠實現清潔無油真空環境的氣體捕集泵，但它們通常不被包括在無油真空泵中，所以這里就不在一一列舉了。
無油真空泵就介紹到這里了，祝您生活愉快~
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作者:德耐爾@德耐爾空壓機 空壓機修訂日期：2019-11-30
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